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  • 技術(shù)文章

    談?wù)勲娙荼∧ふ婵沼?/h1>
    2011-10-11 11:12:20  來(lái)源:康強
    薄膜真空計是迄今為止唯一得到公認的可作為低真空測量(0.01--100Pa)工作副標準的一種真空儀器,
    也是我國唯一具有法定計量校準檢定規程的一種真空度計量器具(校準參照規程:Q/WHJ46-1998標準型電容薄膜真空計校準規程)
     

    電容薄膜真空計是一種絕壓、全壓測量的真空計,原理是把加于電容薄膜上的壓力變化產(chǎn)生膜片間距離的變化,即產(chǎn)生了電容的變化,再通過(guò)鑒頻器把電容變化轉換成為電流或電壓的變化,組成為輸出信號,所以,它的測量是直接反映了真空壓力的變化值,而且只與壓力有關(guān),與氣體成分無(wú)關(guān),即:薄膜真空計是一種直接測量式的、全壓型的真空計。
     
    而我們的真空設備的真空度測量控制常用的真空計往往是電阻計、熱偶計等等間接測量的真空計,是一種熱傳導型的真空測量方法,簡(jiǎn)單一點(diǎn)來(lái)說(shuō),就是通過(guò)測量感受氣體溫度的方法來(lái)間接測量氣體壓強(真空度),是一種類(lèi)似于大家很熟悉熱電阻、熱電偶的測量方法,。由于測量原理上的先天不足,這類(lèi)真空計的測量精度、測量穩定度是很不好的。其測量誤差一般比薄膜真空計大1~2個(gè)以上數量級(誤差大于30%,行業(yè)標準是50%),尤其是在低真空段,誤差更大,另外,使用過(guò)電阻計、熱偶計的度知道,這些儀表測量前還需要零點(diǎn)、滿(mǎn)度校正,怎么能夠用于在線(xiàn)測量控制呢?另外,遇到氫氣等小質(zhì)量的氣體就無(wú)法測量了,如果要測,也查表?yè)Q算,到底真空度是多少?猜吧。
     
    不過(guò),它確實(shí)也有它的優(yōu)點(diǎn)的:制造容易、價(jià)格低廉,在許多的要求較低真空設備上還普遍使用著(zhù),……用過(guò)電阻計的都領(lǐng)教過(guò)它的煩心。許多人抱怨花了3、4千元買(mǎi)到進(jìn)口的真空傳感器也誤差大、毛病多?就是因為老外的這個(gè)價(jià)位的產(chǎn)品還是老的熱傳導測量機理的真空傳感器。所以選擇真空計、真空傳感器、首先要看看什么原理、什么類(lèi)型的,而不是數字、智能,測量機理陳舊,再怎么數字、怎么智能,也于事無(wú)補的。
     
    現代真空應用技術(shù)的發(fā)展,涉及的應用范圍越來(lái)越廣泛、真空應用設備對儀器儀表的要求越來(lái)越高,特別是對測量精度、穩定性要求、以及自動(dòng)控制性能要求也越來(lái)越高,這直接關(guān)系到真空設備的整體性能質(zhì)量,關(guān)系到真空應用技術(shù)或應用工藝的應用效果,甚至于成功與否。在精細化工、真空冶煉、真空單晶爐、真空熱處理、真空浸漬、真空冷凍干燥、真空絕緣處理、電真空器件、半導體材料生產(chǎn)、高特新材料、新能源設備等等行業(yè)中尤其特出。
    許多新設備、新工藝、新產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)之所以老是無(wú)法實(shí)現預想的技術(shù)指標和效果,往往就是因為真空測控儀表選型不當、其實(shí)際的測量控制精度無(wú)法達到設計要求所造成的。
    當然,薄膜真空計也不是沒(méi)有缺點(diǎn)的,首先是價(jià)格高,國內一般是4-6千元,量限低的貴些;進(jìn)口則1.6—2.5萬(wàn)元/只左右;其次,國內老式的薄膜規容易零漂,需要經(jīng)常校正,要求高的經(jīng)常校正。主要是技術(shù)陳舊,國內材料科學(xué)相對落后造成的,溫度穩定性不好;還有一個(gè)量程跨度小,國內的不超過(guò)3個(gè)數量級。第三是國產(chǎn)規嬌氣,容易壞,有油污進(jìn)去很難清洗,要用丙酮,清洗挽救13往往會(huì )報廢,小量程的23會(huì )壞。
    所以,我們需要有一種具有國產(chǎn)價(jià)格、進(jìn)口品質(zhì)的、使用方便、經(jīng)久耐用薄膜真空計。緊跟國際先進(jìn)的真空測量新技術(shù),我們能夠做得到的。
    分析國外的薄膜真空計與我們舊式國產(chǎn)產(chǎn)品的有什么不同呢?一是陶瓷薄膜真空壓力測量技術(shù)、二是智能儀表技術(shù)。首先是通過(guò)大規模厚膜電路(國內有些廠(chǎng)家還是20年前的007運放),將薄膜電容測量機構和傳感器調理電路微型化,做在陶瓷基片上,另外,將智能儀表電路微型化,一次儀表和二次儀表合二為一,所以量程寬、精度高、體積;(其典型代表如萊寶627、英?礣CBG等等)。學(xué)習和引進(jìn)國外先進(jìn)核心技術(shù),采用*新型IC,根據我國真空設備配套測控儀表的特點(diǎn),研制出的陶瓷薄膜真空計,其測量精度和穩定性已經(jīng)完全可以與進(jìn)口產(chǎn)品相媲美了。根據國內設備的習慣,控制柜上數字面板表,還是經(jīng)常使用的,采用專(zhuān)門(mén)設計的具有真空測控特點(diǎn)的精密二次儀器儀表,借籍于現代智能儀表技術(shù)的科技成果,有利于提供測量的精度、分辨率、穩定性和可靠性,增加智能化的自動(dòng)控制功能,(可以配接任何一種模擬量、數字量的接口,比進(jìn)口的薄膜真空計更靈活、更方便)
    實(shí)踐證明,具有現代智能儀表技術(shù)的新型陶瓷薄膜真空計使用到(環(huán)保能源生物醫藥常用設備的)真空濾清、真空精餾真空冷凍干燥機、真空單晶爐、氣氛真空爐、、真空鍍膜機等設備,做真空測量和自動(dòng)控制帶來(lái)*地方便和性能提高,可以快速升級為智能型的真空應用設備。當然,也可以用到科研實(shí)驗室、計量室作為相應的真空段的0.1級標準器,陶瓷芯片的優(yōu)異性能使其年穩定度達到0.1%以上;

    (筆者80年代初期起即從事生產(chǎn)各類(lèi)型真空測控儀器儀表,用于真空電爐、真空羅茨泵機組自動(dòng)控制的ZKJ-100、90b型真空繼電器用戶(hù)遍布全國各地,沿用至今,30年來(lái),不斷地開(kāi)發(fā)新產(chǎn)品,緊跟國際先進(jìn)水平,在多年提供配套服務(wù)過(guò)程中,積累了許多技術(shù)方案、成熟經(jīng)驗,可提供大家參考。歡迎交流,QQ:1594484895)

    如果您在設備上已經(jīng)使用了進(jìn)口的名牌薄膜計,
    不妨也用一用、試一試VR-208C-510系列薄膜真空計,(它的優(yōu)越性能可能會(huì )使你覺(jué)得買(mǎi)老外的有點(diǎn)冤。。。);

    如果您一直在使用電阻計、熱偶計、甚至古老的麥氏真空計,
    那么,相信我們的VR-208C-510系列新型薄膜真空計一定會(huì )給您的工作帶來(lái)改觀(guān)和驚喜。

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    康強
    市場(chǎng)部經(jīng)理

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