陶瓷電容式薄膜真空計與電阻計熱偶計有什么不同
薄膜真空計是迄今為止唯一得到公認的可作為低真空測量（0.01--100Pa）工作副標準的一種真空儀器，
也是我國唯一具有法定計量校準檢定規程的一種真空度計量器具（校準參照規程：Q/WHJ46-1998標準型電容薄膜真空計校準規程）
電容薄膜真空計是一種絕壓、全壓測量的真空計，原理是把加于電容薄膜上的壓力變化產(chǎn)生膜片間距離的變化，即產(chǎn)生了電容的變化，再通過(guò)鑒頻器把電容變化轉換成為電流或電壓的變化，組成為輸出信號，所以，它的測量是直接反映了真空壓力的變化值，而且只與壓力有關(guān)，與氣體成分無(wú)關(guān)，即：薄膜真空計是一種直接測量式的、全壓型的真空計。
而我們常用的真空計往往是電阻計、熱偶計等等間接測量的熱傳導型的真空測量方法，簡(jiǎn)單一點(diǎn)來(lái)說(shuō)，就是通過(guò)測量感受氣體溫度的方法來(lái)間接測量氣體壓強（真空度），是一種類(lèi)似于大家很熟悉熱電阻、熱電偶的測量方法。由于測量原理上的先天不足，這類(lèi)真空計的測量精度、測量穩定度是很不好的。其測量誤差一般比薄膜真空計大1~2個(gè)以上數量級（誤差大于30%，行業(yè)標準是±50%？），尤其是在低真空段，誤差更大。使用過(guò)電阻計、熱偶計的度知道，測量前還需要零點(diǎn)、滿(mǎn)度校正一下，不然誤差還會(huì )更大。另外，不同成分的氣體其熱傳導系數是不一樣的，這種工況時(shí)，電阻計、熱偶計測量值會(huì )增加變化±20-50%。
所以，要使用熱偶計、電阻計準確測量真空度是很難的。
不過(guò)，它確實(shí)也有它的優(yōu)點(diǎn)的：制造容易、價(jià)格低廉，還普遍使用著(zhù)。用過(guò)的都領(lǐng)教過(guò)它的煩心。許多人抱怨花了3、4千元買(mǎi)到進(jìn)口的真空傳感器也誤差大、毛病多?就是因為老外的這個(gè)價(jià)位的產(chǎn)品還是老的熱傳導測量機理的真空傳感器。所以選擇真空計、真空傳感器、首先要看測量技術(shù)的先進(jìn)性，而不是只看是不是進(jìn)口的、數字、智能，等等；測量機理陳舊，再怎么數字、怎么智能，也于事無(wú)補的。
現代真空應用技術(shù)的發(fā)展，涉及的應用范圍越來(lái)越廣泛、真空應用設備對儀器儀表的要求越來(lái)越高，特別是對測量精度、穩定性要求、以及自動(dòng)控制性能要求也越來(lái)越高，這直接關(guān)系到真空設備的整體性能質(zhì)量，關(guān)系到真空應用技術(shù)或應用工藝的應用效果，甚至于成功與否。在精細化工、真空冶煉、真空單晶爐、真空熱處理、真空浸漬、真空冷凍干燥、真空絕緣處理、電真空器件、半導體材料生產(chǎn)、高特新材料、新能源設備等等行業(yè)中尤其特出。
許多新設備、新工藝、新產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)之所以老是無(wú)法實(shí)現預想的技術(shù)指標和效果，往往就是因為真空測控儀表選型不當、其實(shí)際的測量控制精度無(wú)法達到設計要求所造成的。
當然，薄膜真空計也不是沒(méi)有缺點(diǎn)的，首先是價(jià)格高；進(jìn)口則1.6—2.5萬(wàn)元/只；其次，國內老式的薄膜規容易零漂，需要經(jīng)常校正，要求高的經(jīng)常校正。主要是技術(shù)陳舊，國內材料科學(xué)相對落后造成的，溫度穩定性不好；還有一個(gè)量程跨度小，國內的不超過(guò)3個(gè)數量級。第三是國產(chǎn)規嬌氣，容易壞，有油污進(jìn)去很難清洗，要用丙酮，清洗挽救1\3往往會(huì )報廢，小量程的2\3會(huì )壞。
所以，我們需要有一種具有國產(chǎn)價(jià)格、進(jìn)口品質(zhì)的、使用方便、經(jīng)久耐用薄膜真空計。緊跟國際先進(jìn)的真空測量新技術(shù)，我們應該能夠做得到的。
國外的薄膜真空計的核心技術(shù)一是陶瓷薄膜真空壓力測量技術(shù)、二是半導體厚膜電路和智能儀表技術(shù)。首先是通過(guò)大規模厚膜電路（國內有些廠(chǎng)家還是20年前的007運放），將薄膜電容測量機構和傳感器調理電路微型化，做在陶瓷基片上，另外，將智能儀表電路微型化，一次儀表和二次儀表合二為一，所以量程寬、精度高、體積��；（其典型代表如MKS-626\627、英�？礣CBG等等）。
現在，從我國真空測控儀表行業(yè)需求特點(diǎn)出發(fā)，*新研制出的陶瓷薄膜真空計，其測量精度和穩定性已經(jīng)完全可以與進(jìn)口產(chǎn)品相媲美了。
根據國內設備的情況，新型薄膜真空計采用了兩種基本結構：
1.薄膜真空規+智能儀表型、
2.真空壓力變送器（標準型號輸出）型。
采用專(zhuān)門(mén)設計的具有真空測控特點(diǎn)的精密二次儀器儀表，借籍于現代智能儀表技術(shù)的科技成果，有利于提供測量的精度、分辨率、穩定性和可靠性，增加智能化的自動(dòng)控制功能，（可以配接任何一種模擬量、數字量的接口，比進(jìn)口的薄膜真空計更靈活、更方便）
實(shí)踐證明，具有現代智能儀表技術(shù)的新型陶瓷薄膜真空計使用到（環(huán)保能源生物醫藥常用設備的）真空濾清、真空精餾真空冷凍干燥機、真空單晶爐、氣氛真空爐、、真空鍍膜機等設備，做真空測量和自動(dòng)控制帶來(lái)*地方便和性能提高，可以快速升級為智能型的真空應用設備。當然，也可以用到科研實(shí)驗室、計量室作為相應的真空段的0.1級標準器，陶瓷芯片的優(yōu)異性能使其年穩定度達到0.1%以上；
（筆者80年代初期起即從事生產(chǎn)各類(lèi)型真空測控儀器儀表，用于真空電爐、真空羅茨泵機組自動(dòng)控制的ZKJ-100、90b型真空繼電器用戶(hù)遍布全國各地，沿用至今，30年來(lái)，不斷地開(kāi)發(fā)新產(chǎn)品，緊跟國際先進(jìn)水平，在多年提供配套服務(wù)過(guò)程中，積累了許多技術(shù)方案、成熟經(jīng)驗，可提供大家參考。歡迎交流，QQ:1594484895）
如果您在設備上已經(jīng)使用了進(jìn)口的名牌薄膜計，
不妨也用一用、試一試VR-208C-510系列薄膜真空計，（它的優(yōu)越性能可能會(huì )使你覺(jué)得買(mǎi)老外的有點(diǎn)冤。。。）；
如果您一直在使用電阻計、熱偶計、甚至古老的麥氏真空計，
那么，相信我們的VR-208C-510系列新型薄膜真空計一定會(huì )給您的工作帶來(lái)改觀(guān)和驚喜。
